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    1

     

    Simulation and experimental results of sapphire (Al2O3)

     

    1

    concentrated sulfuric acid98% & Concentrated phosphoric acid 86%(volume3:1)

    orientation<0001>, temperature: 236 C°, time: 180 minutes

     

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    More and complicated material wet etching (eg. quartz)

    1

     

    Added various etch rate database for Quartz

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